某半导体器件加工制造公司因晶圆洗掉加工过程生产含氨生产废水，储水量200吨/天。生产废水内除挥发酚外还带有氟化物和进样器巨资属，加工处理困难程度大。本土污染物标淮的要求挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污水营养成分及来原 晶圆除垢工业废水（大部分从何而来）：含氟化物200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀加工过程工业废水：含进样器铜、镍等天价属，pH值变化大 CMP打磨化工废水：含硅小粒及氟化物 处里制作鑫霖环保图 主要包括"物理发展+膜分开+折点氯化"搭配组合新工艺： 预加工处理 ：污泥脱水CaCl2除氟，调节pH在7.5-8. 反渗透装置系统软件 ：的还原0.01μm以上的可吸入颗粒物 反侵入浓缩咖啡 ：将氟化物浓缩液至1000mg/L左右 折点氯化 ：正确管理氯污泥脱水量，将氧化还原电位转变成为氢气 阴阳离子互转 ：有效保障高价属达到标准 结果英文结果 挥发酚稳定性高＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 血本属份量大于检查限 水循环率达75% 活性污泥制造量下降40%