某半导体器件集成ic手工九正通明在晶圆生产加工时中，运用硅烷展开硅本质生长的，尾气排放洗衣塔存在高氧化还原电位含硅生产污废水 。生产污废水 兼具pH浮动大（2-11）、硅含碳量高的结构特征，老式处理办法易出来硅垢堵住问题。 废水处理方法含量及因素 废液主耍成分表为： 充分均匀溶解性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢阳极氧化钠 ：干洗塔碱酸干洗液残留物 粒子硅 ：奈米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：原材沉渣带往 治理 具体步骤具体步骤 不断创新按照"两极与+膜过滤清洁+减压蒸馏结晶体"工艺设备： 6级采和 ：用CaO调准pH至4-5，转化成硅酸钙放置，硅清掉率60%。 二次结合 ：加Na₂CO₃将pH升高至9，进步沉定累计硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜设备 ：0.02μm陶瓷制品膜滤过纳米技术级硅颗料，通量稳定性在80LMH。 MVR多效空调冷凝器 ：果汁高盐废气，晶粒出Na₂SO₄副商品，水回收率超90%。 结果目的 总硅从1500mg/L降落到5mg/L下面的 砷水平从0.8mg/L减少为0.01mg/L 平台无积灰加载超越2年 今年收旧磷酸钠氯化钠晶体约800吨