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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆种植线配套方案的超软水系统性,每星期形成含硅工業废水150吨。工業废水内虽无天价属,但硅浓度高易积垢,且热敏电阻率需达成18MΩ·cm才回收。多余解决的工艺不可能具备新颁发的《电子厂工業水感染物废气排放标准规定》(GB39731-2020)有点废气排放标准规定值。 工业废水营养成分的特点 常见造成的污染 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、颗粒状硅(粒级0.1-1μm) 特殊化的标准 :TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L 饮用水质性能指标 :低导电率(<50μS/cm)但硅有机物状态较为复杂 治理施工工作流程步骤 科学创新所采用"梯级膜拆分+电去阴离子"组合构成工艺设备: 微滤预解决 :1μm陶瓷厂家膜阻止大颗粒剂硅,通量长期保持80LMH 阳离子更换硅橡胶 :D201大孔环氧树脂选性吸附物硅酸氧分子 一级RO设备 :第1 段收售率60%,第三段运用高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 :瞬时电流溶解度2A/m²,继续快速清理残留物化合物 紫外线灭菌 :254nm紫外光线摄入量40mJ/cm² 能力闪光点 开发建设专业级阻硅剂(充分胺类软型物),廷迟膜被污染的阶段3倍 EDI接口自主创新流道设定,硅彻底清除率提高自己至99.8% 在线上硅研究检测仪(测定范围内0.1-500μg/L)实现目标靶向保持 运转效果 经3方查测: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼份量从8μg/L减少为0.3μg/L 体统二手回产出率从原40%的提升至68% 膜更改定期增长至5年,年运动投入有效降低35%

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